富氧燃燒節能系統，製氧方式種類繁多，於基本上應用可分為四種，分別為變壓吸附法、深冷分離法、膜分離法、水電解法。而以簡易度、耗能及成本上薄膜分離法都是較為簡易解經濟實惠的， 以下四種製氧方式進行分析說明：